10月23日，2023年度上海市科学时间奖励大会在上海展览中心举行欧美性爱快播，奖赏为国度、为上海科技奇迹和当代化开发作出杰出孝敬的科技责任者。万业企业（600641.SH）旗下上海凯世通半导体股份有限公司（以下简称“凯世通”）集会要点期骗企业共同完成的“离子注入机时间与期骗产业化”技俩荣获上海市科技超过奖一等奖。凯世通副总司理、首席时间官夏世伟行动技俩第一完成东谈主出席大会并登台领奖。

凯世通暗示，这次获奖技俩所研发的粗劣大束流离子注入机系列开采是制造逻辑芯片、DRAM存储芯片、功率器件、CIS芯片的中枢开采，开采性能与褂讪性弘扬不凡，达成了集成电路紧要装备产业化冲破。

针对离子注入骨子分娩经由中亟需冲破的过失工程时间问题，凯世通革命构建了包括基础探讨和期骗时间在内的“通用平台+过失时间模块+系统集成+期骗时间”完好时间体系，形成了一系列高价值的自主常识产权终局，包括告成贬责了芯片制造中粗劣量条款下的超大剂量注入问题，裁汰了制形老本；完成了颗粒浑浊泉源肆意时间，大幅提高了良率欧美性爱快播，获得伏击工艺冲破等。

当今，凯世通已打造出多款离子注入机标杆技俩，在国内主流12英寸晶圆厂达成了产业化并收货了批量重叠订单。跟着产业化进度加速，凯世通捏续升迁产能，增强就业客户技艺。

夏世伟暗示，这次获奖是凯世通研发团队遏制付出、捏续拼搏的终局，凯世通坚捏正向缱绻、革命冲破，讲究逢迎宇宙前沿科技与产业需求，捏续革命鼓动离子注入机原创性、引颈性科技攻关，继续强化时间上风，捏续为客户提供性能不凡、褂讪可靠、降本增效的先进开采和工艺贬责决议，奋发就业国度集成电路产业高质地发展。

府上表示，上海市科学时间奖由上海市东谈主民政府长入建树，是上海市潜入奉行科教兴国计谋、东谈主才强国计谋、革命动手发展计谋欧美性爱快播，就业高水平科技自立自立，加大对科学限定的第一发现者、时间发明的第一创造者、革命产业的第一开拓者、革命理念的第一执行者的奖励。